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飞纳电镜为什么可以做到15s抽真空,30s成像?
2024-12-29 08:39

如之前【飞纳电镜:从飞利浦到赛默飞,是最“老”的电镜,也是最“新”的电镜(上篇)】的介绍,飞纳电镜继承荷兰飞利浦和 FEI 三仓分离和逐级抽真空专利设计,可以实现 15 秒抽真空 30 秒成像,这是目前业界高效率的台式扫描电镜,可谓是扫描电镜中的“闪电侠”。

 

不同类型扫描电镜操作所用时长对比图

 

通过不同电镜操作用时对比图可知,一方面是抽真空耗时,传统电镜因为通仓的设计,载样抽真空过程需要很长时间,至少 3 分钟的样子。随着设备真正服役,真空系统复杂加之维护不到位,这个等待时间只会越来越久。另一方面 SEM 成像耗时,传统电镜操作界面复杂不说,自动化智能功能严重不足,很依赖于操作人员的熟练程度,一个小时往往能拍好 3 个样品都算快的。

就传统电镜抽真空耗时久这一痛点,飞纳电镜是如何实现抽真空和成像如此之快呢?

 

PART1. 三仓分离真空设计

 

飞纳电镜从一开始就抛弃传统的通仓设计,别出心裁把灯丝仓,光路仓和样品仓“隔离”设计,灯丝仓和光路仓通过压差光阑隔离,光路仓和样品仓通过“真空锁”设计隔离,涡轮分子泵分别对三仓室梯度抽真空,这样切换样品只破坏样品仓真空,整个换样过程几乎不会引起灯丝仓的真空变化,从而保证灯丝仓真空环境一直稳定在 10-5Pa,这也是保证晶体灯丝长寿命的前提条件。

 

 

 

 

PART2. 样品仓设计

 

传统电镜样品仓大开门或者抽屉式设计,不但会造成抽真空缓慢,而且样品仓内各种探测器都暴露在空气中,样品高度要调整,这些都需要警惕否则都会带来巨大损失。而飞纳电镜真空锁不单锁住光路仓,还包括各种探测器,进样之前样品高度做了限高防呆设计,不存在任何误操作得风险,大家可以安心使用。

 

PART3. 自动进样专利设计

 

飞纳电镜继承荷兰飞利浦和 FEI 进样逐级抽真空设计,一键转移到 SEM,边进样边抽真空。在样品仓到达预定真空度前,光路仓可实现真空保持,而后自动加高压,自动调焦和自动调节亮度对比度(B/C)成像,整个过程一气呵诚,无需人工干预,从进样到清晰成像,1min 之内就可以自动完成。

 

 

 

 

飞纳电镜独特的真空系统设计、操作系统和硬件整合都是目前主流市场上做得非常好的,正是由于飞纳电镜诸多匠心设计,才成为目前市面上高效的扫描电镜,也收获了各种奖项!

2015  今日显微镜学创新奖

 

 

飞纳荧光扫描电镜一体机 Delphi 被授予 2015 今日显微学创新奖,表彰其整合光电关联技术前所未有的创新。

 

2009 德国设计大奖

 

 

由德国设计学会颁发的德国设计大奖是世界设计界的最高奖项之一,其以提名标准的严格而闻名于世,被誉为“桂冠中的桂冠”。

 

2008 GIO 工业设计奖

 

 

GIO 工业设计奖是荷兰唯一的设计类奖项,用以表彰专业的设计技术。Phenom 飞纳在 2008 年获此殊荣,证明了其卓越的设计水平。

 

2008 创新技术奖

 

 

荷兰 Het Instrument 展览会期间,Phenom 飞纳荣获实验室器材领域中的创新技术奖,再次证明了其卓越的设计理念。

 

2008 PTB-年度最佳产品

 

 

美国 Phonics Tech Briefs (PTB) 杂志授予 Phenom 飞纳年度最佳产品。

 

2007 美国商务部杰出创新奖 

 

 

美国商务部技术管理局决定授予 Phenom 飞纳杰出创新奖,以表彰其“带来的全新视野,促进了科学、技术、工程等领域中的教学与研究。

 

2007 红点设计奖

红点设计奖拥有 50 多年的悠久历史,被誉为设计界中的奥斯卡,世界上最大最尊贵的设计奖项。

 

 2006 荷兰机电学大奖

因其“在机械电子领域中,卓越的合作研发与制造能力”荣获荷兰机电学大奖。

 

 

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切换样品需要频繁抽真空而苦恼

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